道。

“陈总,45纳米节点,对浸没式光刻的数值孔径和套刻精度,将提出极其苛刻的要求。

贵方计划如何解决高折射率浸没液体的开发,和超大数值孔径投影物镜的制造难题?这两个方向,即使在全球范围内,也属于尚未被攻克的无人区。”

陈向东微微一笑,仿佛早就预料到林本艰会问这个问题。他切换了一张幻灯片,屏幕上出现了一张复杂的分子结构图和一串长长的化学式。

“关于高折射率浸没液体,我们与国内一所顶尖高校的化学系合作,已经合成出几种具有潜力的新型有机溶剂,其折射率在193nm波长下,可以达到1.65以上,远高于水的1.44。

目前正在进行毒理学和兼容性测试。如果进展顺利,有望在明年年中,提供可供工程验证的样品。”

他又切换了一张幻灯片,这次显示的是一组光学仿真数据,和一种新颖的、由多组非球面镜片和自由曲面镜片,组合而成的光学结构示意图。

“至于超大数值孔径投影物镜,我们正在探索一种,基于分区式和自适应光学相结合的创新设计思路。

通过将巨大的物镜分解为多个较小的、可独立调节的子镜组,并引入主动变形镜技术,来实时补偿动态像差,我们有望在可制造的范围内,将数值孔径提升到1.2甚至更高。”

林本坚的眼中,闪过一丝难以掩饰的惊讶和赞赏。

他没想到,对方不仅在工程实现上走在了前列,在对未来更长远技术挑战的预研和布局上,也远远走在了他的前面。

这些关于高折射率液体,和超大数值孔径物镜的研究思路,即使放在ASML或宝积电的内部技术论坛上,也属于最前沿、最具探索性的方向。

他沉默了片刻,然后缓缓放下手中的笔,抬起头,目光直视谢建军:“谢先生,贵方的技术路线规划和预研深度,令我深感敬佩。

基于这样的技术实力和战略眼光,我想,宝积电与贵方之间的合作,不应该仅仅停留在供应商-客户,或者专利授权的层面。”

他顿了顿,郑重地说道:“我建议,我们共同成立一个联合技术委员会,由双方最顶尖的专家组成,定期交流技术进展,共同制定下一代浸没式光刻技术的标准和规范。

同时,宝积电愿意率先在自己的先进产线上,引入贵方的浸没式光刻原型机,进行工艺验证和联合调试,为未来的大规模商用积累经验。”

“如果这个合作模式能够顺利推进,宝积电愿意在未来,将贵方列为优先供应商,并在全球范围内,协助贵方推广浸没式光刻技术。”

林本坚提出的合作框架,比谢建军预期的还要深入和全面。

它不仅涵盖了技术研发层面的深度合作,还包括了市场推广,和产业生态构建的长期承诺。

这表明,宝积电是真心实意地,想要与拂晓团队,建立一种超越普通商业关系的、战略性的合作伙伴关系。

谢建军没有立刻回答。他沉默了片刻,然后缓缓站起身,向林本艰伸出了手:

“林博士,感谢宝积电的信任和诚意。未名-轩辕,愿意与宝积电一道,共同开创浸没式光刻技术的新时代。”

两只手,再次紧紧地握在了一起。

这一次,握手的时间,比昨天在渊基地时,更长,也更用力。

窗外,京城的春日阳光,穿透云层,洒在星火基地的草坪上,一片生机盎然。

而在会议室里,一项足以影响未来数十年,全球半导体产业格局的合作框架,正在悄然成形。

1998年3月,荷兰埃因霍温,ASML总部。

一封来自宝积电的,措辞谨慎而正式的公函,摆在了CEO的办公桌上。

公函的核心内容是,宝积电经过审慎评估,决定在下一代先进制程光刻设备的选型上,将同步推进与ASML TWINSCAN系列,以及另一家新兴技术供应商的技术验证合作。

以确保宝积电能够接触到最广泛、最具竞争力的技术方案,为其全球客户提供最优的服务。
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